干涉儀是利用光學(xué)干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的精密光學(xué)儀器。一般來(lái)說(shuō), 只要是利用光干涉的原理來(lái)量測(cè)的儀器便可以稱(chēng)為干涉儀。一般來(lái)說(shuō)，最初入射光先經(jīng)過(guò)某種分束器（部分透射反射鏡）分成單獨(dú)的兩束光，可能有的光束會(huì)經(jīng)過(guò)外界環(huán)境的影響（例如，長(zhǎng)度變化或者經(jīng)過(guò)折射率變化的透明介質(zhì)），然后在另一個(gè)分束器處光束再次符合。得到的光束功率的空間分布就可以用于測(cè)量。

 

光學(xué)干涉儀的應(yīng)用極為廣泛，主要有如下幾方面：

 

1、長(zhǎng)度的精密測(cè)量

 

在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或絕對(duì)測(cè)量。邁克爾遜干涉儀和法布里-珀羅干涉儀曾被用來(lái)以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。

 

2、折射率的測(cè)定

 

兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變，從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過(guò)條紋移動(dòng)來(lái)對(duì)折射率進(jìn)行相對(duì)測(cè)量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來(lái)對(duì)氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。

 

3、波長(zhǎng)的測(cè)量

 

任何一個(gè)以波長(zhǎng)為單位測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)米尺的方法也就是以標(biāo)準(zhǔn)米尺為單位來(lái)測(cè)量波長(zhǎng)的方法。以國(guó)際米為標(biāo)準(zhǔn)，利用干涉儀可精確測(cè)定光波波長(zhǎng)。法布里-珀羅干涉儀（標(biāo)準(zhǔn)具）曾被用來(lái)確定波長(zhǎng)的初級(jí)標(biāo)準(zhǔn)（鎘紅譜線波長(zhǎng)）和幾個(gè)次級(jí)波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)，從而通過(guò)比較法確定其他光譜線的波長(zhǎng)。

 

4、檢驗(yàn)光學(xué)元件的質(zhì)量

 

泰曼干涉儀被普遍用來(lái)檢驗(yàn)平板、棱鏡和透鏡等光學(xué)元件的質(zhì)量。在泰曼干涉儀的一個(gè)光路中放置待檢查的平板或棱鏡，平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡，可根據(jù)干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變，從而評(píng)估透鏡的波像差。

 

5、其他應(yīng)用

 

用作高分辨率光譜儀。法布里-珀羅干涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉，因而有*的光譜分辨率，常用作光譜的精細(xì)結(jié)構(gòu)和超精細(xì)結(jié)構(gòu)分析。